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氮化硅用真空烧结炉

氮化硅用真空烧结炉

所属分类:真空碳管烧结炉

产品型号:KZT-70-18

更新时间:2020-06-29

描述:氮化硅用真空烧结炉本系列真空炉为周期作业式 设备采用立式上开盖结构,设备整体设计操作方便,设备主要有炉盖、炉体,炉架、真空系统、加热系统、水冷系统、炉底升降系统,控制系统等组成

详细信息

  氮化硅用真空碳管烧结炉控制加热系统有可控硅调压器+低压高流大功率变压器+测温装置,组成闭环控制系统,温度仪表采用程序仪表带PID自动调节功能,带自整定自我调整能力。稳定可靠,控制精度高。设备整体配有操作模拟屏,控制系统的操作都集中在上面,直观明了,操作简单可靠。控制系统集中安放在炉架的一侧箱体内,整结大方,维修方便,所有器件均采用施耐德,西门子等知名品牌,保证使用安全。控制箱柜上都有安全贴,安装接线标准化制作。

氮化硅用真空碳管烧结炉设备用途

本系列真空炉为周期作业式,采用炉盖升降、石墨管为发热元件,适用于金属材料,无机非金属材料,在真空或保护气氛下进行烧结适用,也可用于光学材料的烧结提纯样品测试分析等适用。

氮化硅用真空碳管烧结炉方案图(仅供参考,以实际设计为准)

氮化硅用真空碳管烧结炉主要技术参数

3.1 电源:三相 380V 50Hz

3.2 加热功率:70Kw ±10%(两相380v)

3.3 设计温度:1800℃

3.4 额定温度:0~1750℃

3.4 工作区尺寸:Φ300*300(D*H,mm)(内可放置对应尺寸的坩埚)

3.5 控温区数:一区

3.6 控温方式:钨莱热偶程序控温

3.7 控温精度:±1℃

3.8 冷态极限真空度:6.7*10-3Pa(空炉、冷态、烘烤除气后)

3.9 充气气氛:惰性气体

3.10 充气压力:≤0.05MPa

氮化硅用真空碳管烧结炉结构及功能说明:

    设备采用立式上开盖结构,设备整体设计操作方便,设备主要有炉盖、炉体,炉架、真空系统、加热系统、水冷系统、炉底升降系统,控制系统等组成。

5.1 炉盖

炉盖采用双层不锈钢(SUS304)水夹层封头结构,与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光,外壁拉丝处理。炉门上设有冷却水进出口、压力表,放气阀等快接接口。

5.2 炉体

炉体采用双层不锈钢(SUS304)水夹层架构,与上、下法兰组焊成筒形结构,上下法兰平面上开设有燕尾型密封槽,采用O型硅橡胶密封圈密封。炉内壁精密抛光,外壁拉丝处理。炉体侧面设有冷却水进出口、真空抽气口、加热电极接口,红外测温接口等。

5.3 炉底

炉底采用双层不锈钢(SUS304)水夹层平板结构,与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光,外壁拉丝处理。法兰平面开设有燕尾型密封槽,采用O型硅橡胶密封圈密封。

5.4 炉架

炉架采用型材焊接作为骨架,并配合数控钣金,组合成一个整体,作为整个设备的基础。同时,一体式设计整齐美观,操作方便。

5.5 加热及隔热系统:

加热采用高纯石墨作发热体,纯度高,无挥发,有效保证炉腔内的清洁度。隔热材料采用石墨成型纤维软毡,保温效果好,耐冲击性好。整个隔热屏采用金属框架固定,便于安装与维护。

温度控制采用高温热电偶配合程序仪表闭环控制,带多段程序,可以设置升温、保温、降温程序,自动运行。同时,在隔热屏外设置一支监控热电偶,监控隔热屏外温度,提高设备的安全使用性能。

5.6真空系统

真空系统采用二级泵配置,由一台2X-30旋片式机械泵配压差阀、一台KT-300扩散泵+真空阀阀、充气阀、放气阀、真空压力表、真空测量规管等组成,真空管道与泵的联接采用金属波纹管减缓震动,真空度的测量由睿宝数显真空计执行。

5.7 充放气系统

本设备配置一路充放气系统,由流量计、电磁阀、手阀、、接头等组成,可对炉内气氛压力进行控制。手阀可以根据实际情况,适当调整气体流量。排出的气体客户可结合实际情况进行处理。

5.8 水冷装置

水冷系统由进出水总管道、阀门及各支路组成。冷却水由总进水总管进入后,经过各支管送到炉门、炉体、炉底、水冷电极、真空泵、冷阱等这些需要冷却水的地方,然后汇总到出水总管排出。总进水管路设有电接点压力表,具有断水声光报警并切断电源功能。各支路水管采用透明塑胶软管,通过不锈钢接头联接进出水总管道及设备各进出水口。每路冷却水进水管都装有手动阀门,可手动调节水流量大小。

 

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