








一·单管区熔炉 采用触摸屏进行操作 设备用途:
1. 提纯金属、半导体、有机和无机的化学材料;
2. 区熔致匀(使一种欲掺入的杂质十分均匀地分布在整个单晶
体中)
3. 焊接和测量液体中的扩散率等。
二·单管区熔炉 采用触摸屏进行操作设备优点:
1·区熔加热炉采用往复区熔的方式,闭环温度控制,可靠的控制熔区的宽度问题;生长室的设计成功解决生长室的污染问题,
2·将加热及保温材料均设置在生长腔室外部,采用高纯石英作为腔室,同时抽真空;将流动高纯氢气通入腔室,去除腔室中的微量氧,解决氧化的问题;
3·开发高柔性的控制软件,采用触摸屏进行操作,任意设置区熔的温度,区熔的速度及次数。
三·主要技术参数
1.加热温度: 1100℃ 使用温度:≤1000℃(主加热采用红外测温)
2.设备功率: 10Kw±10% 三相380v 50Hz(三相五线制)
3.超高频感应电源功率: 6Kw±10% 单相220v 50Hz(三相五线制)
4.主加热方式: 高频感应加热
5.设计前配置辅助加热:采用电阻加热 加热功率≤1kw 温度范围≤500℃,温度可控可设定。
4.冷态极限真空度: ≤5Pa
5·石墨舟尺寸:Ф50*400mm(内径*长度,半圆柱)(根据实际微调整)
6·石英管(腔室)尺寸:¢60*1000(根据实际加热分布情况做调整)
7·加热方式: 高频感应加热
9·区熔熔区长度及速度:400mm 位移行程 ≥500mm
快速:50-200mm/min(伺服控制)可根据客户需求设计
10.炉内充气压力: ≤0.03MPa(氩气 氢气)
11·充气系统: 自动充放气(配置氢气点火装置)


















