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实验真空烧结炉设备

实验真空烧结炉设备

所属分类:实验真空烧结炉

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更新时间:2020-06-29

描述:实验真空烧结炉设备主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。

详细信息

实验真空烧结炉设备真空系统采用二级泵配置,由一台K-100油扩散泵,一台VRD-16机械泵、手动高真空蝶阀、充气阀、放气阀、真空压力表、真空测量规管等组成,真空管道与泵的联接采用金属波纹管减缓震动,真空度的测量由睿宝数显复合真空计执行。

实验真空烧结炉水冷装置水冷系统由一台进出水总管道、阀门及各支路组成。冷却水由总进水总管进入后,经过各支管送到炉门、炉体、炉底、水冷电极、真空泵、冷阱等这些需要冷却水的地方,然后汇总到出水总管排出。总进水管路设有电接点压力表,具有断水声光报警并切断电源功能。各支路水管采用透明塑胶软管,通过不锈钢接头联接进出水总管道及设备各进出水口。每路冷却水进水管都装有手动阀门,可手动调节水流量大小。

实验真空烧结炉设备使用注意事项

 1、由于模具一般由用户自备,模具材料基本上选用高纯石墨,其耐压极限为40MPa,建议用户使用在30MPa以下比较安全,加压前应计算模具上、下冲头的面积,再换算成压力,具体公式如下:  

系统允许加压(吨)=上或下冲头面积×30MPa ; 如预先不计算盲目加压导致模具、压块、发热体、保温屏等石墨制品损坏,本公司概不负责。  

2、热电偶为钨铼型,使用过会发脆,不能接触。如损坏应及时更换。其型号是W2型。  

3、冬天应注意循环水的保暖问题,否则易发生水管爆裂。  

4、使用后炉体应保持真空,因炉内保温层易受潮,保真空这样下次抽真空会快些。  

5、因设备较复杂,建议专人使用,专人负责,对新手严格实行用前培训,用后检查,操作使用要有记录等设备使用规定。

 

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