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真空晶体生长炉单晶炉石墨烧结炉

真空晶体生长炉单晶炉石墨烧结炉

所属分类:实验真空烧结炉

产品型号:KZJT-15-16

更新时间:2022-06-30

描述:真空晶体生长炉单晶炉石墨烧结炉主要用于LED行业的宝石晶体,高温合金金属晶体等的制备新型合金材料晶体材料的研究制备等

详细信息

·真空晶体生长炉单晶炉石墨烧结炉设备用途 

  主要用于LED行业的宝石类晶体制备,氟化物类晶体生长,烧结,退火等处理

·真空晶体生长炉单晶炉石墨烧结炉产品特点

1·模块化设计,结构紧凑,外形美观,

2·采用底部电动升降和钟罩式炉体升降,结构精巧,方便,移动平稳装卸料方便

3· 采用触摸屏+plc控制方式,自动化程度高,操作直观,功能强大。

4· 在触摸屏内可预存几十种烧结工艺,一次编辑,以后直接调用使用,省去多次编辑工艺的麻烦,避免输入错误,烧坏产品。

5· 烧结的温度,真空度,等数据可实时记录,也可随时启动停止记录,减少无用数据,数据可查询,可导出下载。

6· 烧结温度高,用石墨发热体,最高可达1600℃,

·设备参数

1·设备总功率:15Kw;电源电压:3相380V,50Hz

2·最高温度:1650℃ 加热功率 8Kw 单相220V

3·额定温度:室温~1600℃

4. 工作区尺寸Ф60×100mm(直径×高

炉体内径Ф300Ф500mm暂定)

6.测温系统:                   钨莱热电偶

7.控温精度:                   ±0.1℃

8.加热区:                    Ф80×120mm

9.坩埚下降速度:              慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)

快速升降50-200mm/min(带手动升降)

    位移行程 150mm

10.中心轴有效行程/载重:      ≤300mm/20kg

11.炉内充气压力:             ≤0.05MPa

、结构说明

1、炉盖:采用双层水夹层结构,外壁为304不锈钢,内外壁与炉体上下法兰组焊成整体结构,炉盖设有锁紧装置。内外壁都做精密抛光处理,炉盖上留有放气阀,压力表等标准接口。

2、炉体机构:同样采用外壁为304不锈钢材料双层水夹层结构,内、外壁作精密抛光处理,炉体与下法兰组成筒型结构,法兰平面开设密封槽。采用“O”形圈真空密封,并设水冷装置(防止因温度过高使“O”形圈老化。侧部设计有加热电极以及测温装置接口,还配置有标准KF真空接口。

3、炉底及升降装料机构:炉底与炉体采用“O”圈真空密封,并设水冷装置,真空系统及坩埚电动伺服丝杆升降,炉底与炉体的联接均采用紧固压紧密封。炉底法兰整个安装在一线性模组上,可整体升降,用于装卸材料使用。炉底配置晶体生长用线性模组,由伺服电机带动,用于坩埚升降,做晶体生长使用。升降与炉底采用焊接波纹管密封防止行走过程真空的泄漏,保证密封的可靠性。

4、发热元件及隔热屏:加热采用高纯石墨作发热体,纯度高,无挥发,有效保证炉腔内的清洁度。隔热材料采用石墨成型纤维软毡,保温效果好,耐冲击性好。整个隔热屏采用金属框架固定,便于安装与维护。温度控制采用一支钨铼热电偶全称控温测温使用。同时,在隔热屏外设置一支监控热电偶,监控隔热屏外温度,提高设备的安全使用性能效率高耐冲击性强发热体与炉体电极联接,水冷电极安装在电炉侧部,并设冷却水通水冷却。

5、真空系统:由TRP-16机械泵,和高真空气动挡板组成,并配有真空压力表、充气阀、放气阀。真空管道与泵联接采用快速接头联接(减缓震动),真空测量选用具有数字显示功能的复合真空计执行。

6、温控系统:控制加热系统有可控硅调压器+低压高流大功率变压器+测温装置,组成闭环控制系统,温度仪表采用程序仪表带PID自动调节功能,带自整定自我调整能力。稳定可靠,控制精度高。控制系统采用PLC+触摸屏的方式,温度、真空、位移数据可记录可查询,曲线可现实,数据可保存可导出,温度程序数据可编译可保存可调用。控制系统集中安放在炉架的一侧箱体内,整结大方,维修方便,所有器件均采用施耐德,西门子等,保证使用安全。控制箱柜上都有安全警示贴,安装接线标准化制作。

7、水冷分配系统:由主管道、分管路、水阀、压力报警等相关装置组成,具有断水声光报警及自动切断电源等功能。

8、变压器及联接电缆:采用与之相匹配的变压器及联接电缆

 

 

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